开山国内首台套离心式双介质气体组合机成功进入高端市场

由开山上海通用机械研究院自主研发的离心式双介质气体组合压缩机日前在江苏某全球领先的集成电路制造企业顺利完成调试并投入使用，各项参数达到设计要求，获得用户好评。 众所周知，半导体行业八大核心材料中，电子气体是仅次于硅的主要原材料，其在半导体晶圆制造材料价值中的占比为13.5%。电子气体在…

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